技术编号：8460613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及惯性传感器及使用微机械惯性传感器进行惯性传感方法。具体地，本 发明涉及可以很容易制造的并且仅使用单个悬挂的检验质量块（proof mass)能够在两个 或三个正交方向进行传感的惯性传感器。背景技术 基于轻阻尼微机械谐振器的振荡器以其生产稳定、低噪音频率输出的性能而闻 名。而这些特征使得它们在通信系统中作为稳定的定时/频率参考有价值，这些特征也使 得它们在用作传感器方面具有吸引力。通过定义，谐振传感器是输出频率是测量的输入的 函数的振荡器。换句话...
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