技术编号:8460833
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种用于使被称为有源层的层的初始应变状态改变为最终应变状态 的方法,并且涉及一种用于使有源层的初始应变状态改变为最终应变状态的结构。背景技术 表述"有源层"理解为表示这样一种层(或多个子层),将会在该层上或该层中制 造元件,尤其是在微电子、光学、光电子、压电甚至自旋电子学领域中应用的元件。 表述"应变状态"理解为表示由在有用层的变形部分之间的内部应力所导致的应 变,内部应力可能为拉伸或压缩应力。当内部应力为零或几乎为零时,"松弛状态"在口语上 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。