技术编号:8464279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用钯合金膜的氢气选择透过性的氢提炼。具体来说,本发明涉及具有钯合金细管等的钯合金膜组件;收纳该钯合金膜组件、与该钯合金膜组件形成一体构成氢提炼装置的收纳构造体;以及采用它们的氢提炼方法。背景技术在过去,大量的高纯度的氢气作为气氛气体而在半导体制造步骤中被使用。因半导体的集成度的提高,要求在这样的氢气中,杂质的浓度为极低的浓度(PPb程度以下)。另一方面,作为从工业上制造大量的高纯度的氢的方法,人们知道有下述方法,其中,将从甲醇、二甲醚、天然气、...
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