一种级联粗精耦合光学扫描装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8472210

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本发明涉及光学扫描系统,具体涉及一种旋转双棱镜和正交偏摆光学平板集成的 高精度光学扫描装置。背景技术 旋转双棱镜作为一种典型的光束扫描装置,具有结构紧凑,转动惯量小,动态性能 好等特点,可以广泛应用于激光通信、微结构加工、生物医学、军事武器等领域。通过旋转双 棱镜可以实现光束的高精度定位。在先技术(云茂金等专利,专利号200310108487. 7)提 到旋转双棱镜用于激光通信领域时,精度可以达到毫弧度量级。由于棱镜在安装时会产生 安装误差,如棱镜倾斜或...
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