具有绝缘体上硅(soi)衬底上的金属环的半导体器件结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8474120

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半导体器件用于各种电子应用中,诸如个人电脑、手机、数码相机和其他电子设备。通常通过以下步骤来制造半导体器件在半导体衬底上方依次沉积绝缘层或介电层、导电层和半导体材料层,然后使用光刻图案化各种材料层以在其上形成电路组件和元件。通常在单个半导体晶圆上制造多个集成电路。通过沿划线锯切集成电路从而分割单独的管芯。通常以例如多芯片模块或其他类型的封装方式将单个管芯分别进行封装。绝缘体上硅(SOI)技术的实现是用于允许微电子器件持续小型化(可以称为扩展的摩尔定律)的一...
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