技术编号：8474645
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在光刻机中，为了补偿长行程粗动台的控制精度，需要在粗动台之上加入超精密微动台，微动台的定位精度和定位速度一定程度上决定了光刻机的曝光精度和生产效率，因此微动台逐渐成为光刻机核心技术之一。目前国内外的纳米级微动台主要分为三类借助丝杠传动的伺服电机微动台、压电陶瓷微动台以及音圈电机驱动的磁浮微动台。前两种微动台由于机械摩擦阻尼非线性等因素很难满足光刻机高精度、高加速度、高度响应特性等要求，但采用音圈电机驱动微动台的方式可以满足以上要求。但现存的微动台所采用的音...
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