技术编号：8476403
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在现有的中，在金属板上形成具有多个贯通开口的第I抗蚀剂图案，经由上述第I抗蚀剂图案的贯通开口进行蚀刻处理而形成贯通上述金属板的多个开口图案，然后将上述第I抗蚀剂图案除去，在上述金属板上形成具有多个第2贯通开口的第2抗蚀剂图案，上述多个第2贯通开口使上述多个开口图案各自的周围的规定宽度的金属边缘部分别露出，经由上述第2抗蚀剂图案的第2贯通开口进行蚀刻处理，形成上述多个贯通开口各自的周围的掩模主体部和位于该掩模主体部的周围的、具有比掩模主体部的厚度大的厚度的周...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。