技术编号：8476571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电容性MEMS压力传感器要求在施加的压力下相对于彼此移动的两个电极。该构型通常通过使固定电极(下文称作下部电极)形成在基底中、同时使可移动电极(下文称作上部电极)设置在暴露于待感测电压的可变形膜中来实现。电极中的一个或多个通常通过沉积导电膜、将导电层电隔离或通过在两种导电材料之间添加氧化层来形成。图1示出了如在2011年9月14日提交的美国专利申请N0.13/232,005(以其全部内容并入本文作为参考)中所描述的MEMS压力传感器10的侧剖视图。压力传感...
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