技术编号：8483555
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明是有关于一种耐蚀刻光阻组合物，特别是指一种含有无机材料的耐蚀刻光 阻组合物。 先前技术 太阳能电池包含具有复数个P-掺杂区及η-掺杂区的硅晶圆。除了硅晶圆外，太 阳能电池更包含多数个用于自掺杂区收集电力的电性接触结构。该电性接触结构通常包含 一或多层金属层、绝缘层及保护层等。为了产生该电性接触结构，太阳能电池制程一般会包 含多个阶段的电镀及/或蚀刻，例如选择性蚀刻及电镀晶圆的预定区域，以于未被蚀刻或 电镀的区域提供保护遮蔽材料（也就是"光阻"），从...
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