技术编号:8484232
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。镀膜技术经过几十年的发展已经进入到相对成熟的阶段,广泛应用于玻璃成型工艺。随着平板显示器产业的飞速发展,在2004年中国IXD显示器的产量首次超过了 CRT,在该领域是一种大面积的镀膜技术,还不只是被镀工件的镀膜面积大到几平方米,而是考虑一套镀膜设备整个的生产能力和质量的平稳。磁控溅射镀膜在该领域是一种大面积的镀膜技术,被镀工件的镀膜面积大到几平方米,一套镀膜设备要考虑整个生产能力和质量的平稳,它所面临的主要问题有 ①薄膜均匀性的控制,包括薄膜厚度、薄膜...
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