技术编号：8486138
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及功能元件和使用该功能元件的电子器件、电子设备及移动体。背景技术近年来，作为振动器件，开发了使用例如娃MEMS(Micro Electro MechanicalSystem微机电系统)技术的功能元件。并且，公开了使用作为该功能元件的一例的陀螺元件来检测角速度的陀螺传感器(静电电容型MEMS陀螺传感器元件)。作为这样的陀螺传感器的一例，例如，如专利文献I公开的陀螺传感器那样，具有设置在相互正交的三个轴(X轴、Y轴、Z轴)内的X-Y面的振动系统构造体、...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。