碗状金属纳米结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8486948

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本发明涉及一种碗状金属纳米结构。背景技术 金、银等金属光栅在很多领域具有重要的应用,比如纳米光学、生化传感器、超高 分辨成像的精密光学仪器、表面等离子学和表面等离子激元光刻等。 现有金属光栅多是通过剥离(Lift-off)工艺或电化学或干法刻蚀等方法制备的, 然而,这些方法或因为引入化学试剂导致金属光栅的结构及性质不理想,或很难实现特定 形貌及非常小的纳米结构,或容易引起金、银等金属发生物理性质不稳定。因此,利用上述 方法制备具有一定微结构的金、银等金属...
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