技术编号：8486950
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光栅由平行排列的多条栅线构成的光学器件，广泛应用在光学系统中，作为核心器件发挥着色散、偏振、分束等重要作用。尤其是在高端精密制造装备中，已广泛应用于精密位移测量、角度测量。其是数控加工、微电子制造等高端装备制造领域的核心器件。随着微纳加工技术的不断进步，光栅的工作波长从微米级已经发展到亚微米甚至纳米级，现有技术中，光栅的制作方法包括机械刻划、纳米压印、全息光刻、X射线和电子束光刻、UV-LIGA制造等。机械刻划技术制作光栅，栅线密度无法提得太高，且由于附加...
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