技术编号：8487776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在当今半导体生产领域，工厂自动化技术已经被广泛制造厂商所采用。通过一些 软件中间件的实现，可以将设备与高层控制平台有机地结合起来，从而为工作人员提供一 个友好而高效的操作环境。目前，机台采用FA (Factory Automation System,工厂系统自 动化软件平台系统）作为工厂端软件与设备控制软件交互的中间部分。FA系统基于SEMI 标准开发，负责解析工厂端软件发送的遵循SEMI标准的消息并下发至设备端，以及将接收 到的设备端消息转换为SEMI...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。