技术编号：8488817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氮化钽是一种电阻材料，随着半导体制造技术的不断发展，氮化钽的应用越来越广泛，由于氮化钽薄膜比其他薄膜产品相比具有更高的稳定性、更低的电阻温度系数、可以在更严酷的自然条件下应用等优点，所以大功率的氮化钽薄膜电阻可以带来更高的经济效.、/■Mo铁(Fe)，钴(Co)，钛(Ti)，镍(Ni)等金属或复合金属可以作为一些半导体器件的电极，所以在半导体工艺中会有氮化钽沉积在铁(Fe)，钴(Co)，钛(Ti)，镍(Ni)等金属或复合金属上。而业界刻蚀氮化钽的工艺通常使...
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