技术编号：8488833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氮化物材料作为制造发光器件的材料，是众所周知的。利用氮化物材料的发光器件主要具有其中在诸如蓝宝石的基板上依序叠置由GaN晶体制成的缓冲层、由η型GaN晶体制成的η型掺杂层、由InGaN制成的有源层以及由ρ型GaN制成的ρ型掺杂层的结构。而且，在一个金属有机化学汽相淀积设备室中依序叠置这些层。然而，用于各个层的温度条件不同，且为了满足温度条件，每次在各个层生长时，都要有效控制温度条件。而且，如果在衬托器上固定多个晶片并执行工艺时，衬托器的整个区域的温度均匀性...
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