一种碳化硅刻蚀方法技术资料下载

技术编号:8488848

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碳化硅(SiC),作为一种新型半导体材料,具有潜在的优点更小的体积、更有效率、完全去除开关损耗、低漏极电流、比标准半导体(纯硅半导体)更高的开关频率以及在标准的125 °C结温以上工作的能力。当前,电子器件的使用条件越来越恶劣,要适应高频、大功率、耐高温、抗辐照等特殊环境。为了满足未来电子器件需求,必须采用新的材料,以便最大限度地提高电子元器件的内在性能。近年来,新发展起来的第三代半导体材料一宽禁带半导体材料,包括碳化硅和氮化镓,该类材料具有热导率高、电子...
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