技术编号:8489295
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在专利文献I中公开了一种分布反馈型半导体激光元件,其在InGaAs光引导层和P型InP包覆层的分界面,具备具有锯齿状凹凸的衍射光栅。专利文献1日本特开2005 - 353761号公报有时在阻绝层利用电子束光刻对衍射光栅图案进行光刻,并利用该衍射光栅图案形成衍射光栅。虽然通过电子束光刻能够描绘细微的衍射光栅图案,但存在下述问题,即,处理时间与衍射光栅图案的面积成正比地变长。发明内容本发明就是为了解决上述课题而提出的,其目的在于提供一种能够缩短电子束光刻所需时...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。