存储元件和存储装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8491873

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NOR或NAND闪存通常用作数据存储用的半导体非易失性存储器。该些半导体非易 失性存储器通过使存储元件和驱动晶体管微型化实现了容量的增大;然而,由于写入和擦 除必需使用高电压,并且注入浮动栅中的电子的数量受限,所W已指出了微型化的限制。 目前,作为能够超越微型化的限制的下一代非易失性存储器,已提出了诸如 ReRAM(电阻随机存取存储器)和PRAM(相变化随机存取存储器)等电阻变化存储器(例 如,参照PTL1和NP化1)。该些存储器具有其中在两个电极之间设...
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