技术编号:8494315
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。纳米探针是指尺度为0~100nm的针尖,可应用于扫描隧道显微镜探针,微操作工具(原子操纵),细胞无损检测,微机电系统,微电子及微纳加工等应用领域。目前电化学刻蚀法是制备金属纳米探针的主要途径。电化学刻蚀法是一种利用在电化学反应过程中以离子形式去除阳极材料的方法。此外,电化学刻蚀法是一种无接触式加工,加工过程中不存在机械应力及热影响区域,适合于加工纳米尺度金属探针。电化学刻蚀法已被应用于制备纳米尺度(~20nm)的针尖状探针,但是对于大长径比纳米探针的制备还...
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