技术编号：8496627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体红外探测器作为一种探测器，可用于军事跟踪、夜视、监控和地下物质勘探等设备中，目前半导体红外探测器的研发和制备工作成为科研界的一个热点，相对于当前使用较普遍的碲镉汞红外探测器，具有探测波长更广(理论上支持短波到甚长波30 μ m可调)器件性能均匀稳定，适合量产，能够探测更多色，制作更大焦平面的探测阵列。半导体探测器的器件工艺也是一个制作流程的关键一步，其制作的好坏很大程度上影响着探测器的灵敏度、响应度、暗电流等问题。考虑到工艺制作中广泛采用的干法刻蚀所...
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