技术编号:8499338
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及半导体工艺及器件。发明背景自从早年德州仪器的Jack Kilby博士发明了集成电路之时起,科学家和工程师已经在半导体器件和工艺方面作出了众多发明和改进。近50年来,半导体尺寸已经有了明显的降低,这转化成不断增长的处理速度和不断降低的功耗。迄今为止,半导体的发展大致遵循着摩尔定律,摩尔定律大意是指密集集成电路中晶体管的数量约每两年翻倍。现在,半导体工艺正在朝着20nm以下发展,其中一些公司正在着手14nm工艺。这里仅提供一个参考,硅原子约为0.2...
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