技术编号：8499736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着微/纳米技术的发展，众多工程的研究都迫切需要亚微米级、微/纳 米级的精密驱动器，但是基于电磁感应原理的电磁电机在微型化、高功重比的发展方向上 很难突破。传统的驱动装置，如普通电机、丝杠螺母、蜗轮蜗杆等宏观大尺寸驱动装置已很 难满足精度要求。因此，各国的科研人员倾力于研究性能更优越的新型高精度驱动装置。 随着材料科学的发展，新型功能材料为该些应用提出了新的解决方案，其中，逆压 电效应的发现及具有优越性能的压电陶瓷PZT材料的出现使得压电精密驱动器的研究...
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