一种新型的硅片清洗工序单面酸腐蚀制绒的方法技术资料下载

技术编号:8513700

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目前,单、多晶硅太阳电池的主要制造工艺已经标准化,其主要步骤如下 a.化学清洗及表面织构化处理通过化学反应使原本光亮的硅片表面形成凸凹 不平的结构,以增加光的吸收。 b.扩散P型硅片(P型硅是在硅晶体中掺杂了三价杂质而使硅材料呈现出P型半 导体特性)进行磷扩散,P0CL3在大于600度的高温下分解生成PCL5和P205,其反应式如 下 5P0C13 - P205+3PC15;生成的P205在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅 (Si02)和憐原子 2P20...
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