技术编号：8514899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电声换能器将电能转换成声能或将声能转换成电能，并且可以包括例如超声换能器和麦克风。微加工电声换能器使用微机电系统(MEMS)。微加工电声换能器的一不例是微加工超声换能器(MUT)，其是将电信号转换成超声波信号或将超声波信号转换成电信号的装置。MUT可以根据信号转换方法而分为压电MUT (pMUT)、电容MUT(cMUT)以及磁MUT(mMUT)。在这些超声换能器当中，cMUT被广泛用于医学图像诊断装置和/或传感器中。发明内容示例性实施方式可以解决至少以上问...
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