技术编号：8519576
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 投影光刻机是一种把掩模上的图案通过投影物镜投影到硅片表面的设备，为了使 硅片表面位于指定的曝光位置，必须有自动调焦调平系统进行精确控制。在工艺过程中， 需要检测自动调焦调平系统是否正确调焦调平，即检测硅片表面是否已位于指定的曝光位 置，检测的方法是获得整个曝光场内硅片表面高度与倾斜信息，以此来判断自动调焦调平 系统是否正确调焦调平，而自动调焦调平系统又根据这些信息作相应调节，以精确控制硅 片位置。 实现自动调焦调平控制功能有多种不同的技术方案。目前比较常...
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