技术编号:8519662
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。为了观察物体的微小的区域,使用扫描型电子显微镜(SEM)或透射型电子显微镜(TEM)等。一般而言,在这些装置中,对用于配置试料的第2箱体进行真空排气,使试料环境成为真空状态然后对试料进行拍摄。另一方面,想要用电子显微镜观察生物化学试料或液体试料等因真空而受损或者状态改变的试料这样的需求变大,近年来,开发出在大气压下可对观察对象试料进行观察的SEM装置或试料保持装置等。这些装置设置原理上电子线可在电子光学系统与试料间透射的薄膜或者微小的贯通孔,隔开真空状态与...
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