技术编号：8521623
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机械部件通常满足光学功能、例如作为微镜、光发射装置或者光传感器。相应的光学功能元件、例如微镜可以或者未封闭地制造或者严密密封地封装，这能够改善微镜的寿命和功能性。在DE 10 2011 119 610 Al中描述了一种用于制造结构化的光学组件、尤其用于包封微系统的盖的方法。在第一衬底上施加在连接之前制造的加强元件，由此产生堆叠。所述堆叠在与第二衬底连接之后被加热，由此使第一衬底如此变形，使得第一衬底的至少一个由加强元件遮盖的区域移动和/或倾斜。发明内容本...
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