包括薄膜金属光栅的反射式液晶器件的制作方法技术资料下载

技术编号:8527598

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采用液晶的光学器件在业内已为人所熟知,并已用于多种应用场合,包括用以形成可变的光相位延迟和/或改变光束偏振状态的光相位调制器和相位可变延迟器。反射式液晶器件可以采用成熟的硅基液晶(LCoS)技术方便地制成。在一种典型的硅基液晶中,几微米(ym)厚的液晶层被夹在透明电极与反射式电极之间,后者在硅基底上形成,该硅基底还具有驱动器件所需的电路。当对电极施加电压时,电极之间的电场会影响高度各向异性的液晶分子的取向。场诱导液晶分子的取向会改变液晶层对入射光束的有效折...
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