技术编号:8535788
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在横型双头平面磨床中,在磨削硅晶圆等的薄板状工件的两侧面时,在通过一对静压垫从板厚方向的两侧静压支撑工件的状态下,一边通过托架使该工件旋转,一边通过一对磨削磨石将工件的两面磨削成规定的厚度。在使用真空吸附式的送入送出机构,相对于托架而送入送出工件的场合,经过一侧的静压垫对工件的真空吸附,在送入送出机构和一侧的静压垫之间进行工件的交接(专利文献I)。例如,在将磨削后的工件从托架向机外排出的场合,在停止来自两个静压垫的静压水的供给的同时,通过一侧的静压垫真空吸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。