技术编号:85394
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种,且更特别地,涉及一种具有沟槽式电容器(trench capacitor)及堆叠式电容器(stack capacitor)的。 背景技术本发明的现有技术描述有关半导体器件及动态随机存取存储器(dynamicrandom access memory,DRAM),其并未限缩本发明的范畴。 近期以来,限缩存储器尺寸以增加集成度,进而增加动态随机存取存储器芯片的存储器尺寸已蔚为一股风潮,当存储器的尺寸缩减时,使用于存储器内的电容器的容量也随之降低。 动态随机存取存储器的存储器包含储存电容器(sto...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。