一种用于微孔填充的化学镀银溶液的制作方法技术资料下载

技术编号:8539588

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金属银具有优良的导电性、导热性和可焊性等综合物理化学性能,已广泛应用于 航空、航天、石油化工、机械、电子、计算机、汽车、医疗等领域。电镀银填充技术就会变得越 来越困难,完美化学镀银将替代电镀填充来完成更加细密的微电子器件的制作。完美的化 学填充实质是要在道沟或微孔中进行无空洞、无缝隙的填充银。但在实际道沟或微孔的填 充中,往往会出现空洞等缺陷。 在微孔填充过程中,通过添加一些添加剂来调节在微孔中化学镀银的沉积速率。 当银在微孔口部附近的沉积速率大于其在微...
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