技术编号:8539669
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于类金刚石薄膜制备,特别涉及一种液相电沉积制备类金刚石 薄膜的方法。背景技术 类金刚石薄膜(Diamond-like Carbon Films,简称DLC薄膜)是一类硬度、光学、 电学、化学和摩擦学等特性都类似于金刚石的非晶碳膜。例如,它具有硬度高、摩擦系数低、 电阻率大、生物相容性好、低介电常数、宽光学带隙等特点,可以应用于机械、电子、化学、军 事、航空航天等。 目前,制备类金刚石薄膜的传统方法有物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积 (CVD)...
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