技术编号:8539694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。铌酸锂单晶薄膜和钽酸锂单晶薄膜(以下简称薄膜或单晶薄膜)在光信号处理、信息存储以及电子器件等领域具有广泛的用途,其可以作为衬底材料,可以用于制作高频、高带宽、高集成度、大容量、灵敏度高、低功耗以及性能稳定的光电子学器件和集成光学器件,例如,滤波器、波导调制器、光波导开关、空间光调制器、光学倍频器、表面声波发生器、红外探测器以及铁电体存储器等。最常用的铌酸锂单晶薄膜材料一般可分为三种结构,其中,第一种结构从上至下依次为铌酸锂单晶薄膜、二氧化硅层和铌酸锂衬底;...
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