技术编号：8540799
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。于基板加工制程产业中，使用于基板的加工流体可能因原料不易取得、制备程序繁杂、或需要特定制备程序等因素，使得加工流体往往所费不赀，因此将用于基板的加工流体收集至特定收集容器内以供加工的循环使用是非常重要的程序，而加工流体的收集率也因此成为制程运转成本高低指标之一。图5显示一先前技术的基板加工机1001A，其具有一底座/机座1010A，一基板转轴1016A、一基板1018A、一动力装置1050A、及一收集环1500A，基板1018A系固定于基板转轴1016A之...
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