技术编号:8542661
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在对半导体器件或芯片进行在片微波测试时,需要用到微波探针,由于微波测量非常敏感,扎针位置的重复性严重影响测量的精度。首先,在系统校准过程中,微波探针需要对校准件进行严格的对位,才能准确的去掉矢量网络分析仪、电缆和探针等引入的误差,将校准的参考面移到指定的参考面。如果校准过程中探针对位出现偏差将会引入额外的误差,导致后续的所有测量精度都会下降。在对被测件进行测量过程中,对被测件的扎针需要按照校准件一样的对位标记,才能保证测量的参考面与校准系统时的测量参考面一...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。