基于可调光栅型微环的三维集成光功分/波分器的制造方法技术资料下载

技术编号:8542873

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光功分器是连接光线路终端和光网络单元的核心之一。其制作技术主要有两种熔融拉锥型光纤功分器和平面波导(PLC)型光功分器。PLC型光功分器利用半导体工艺制备,具有结构紧凑,可批量制作,稳定性高等优点。其中基于硅上二氧化硅(SOS)工艺的PLC型光功分器是首先被应用于光通信、传感系统的PLC器件;并且具有热稳定、低非线性、高带宽、集成度高、成本低等特点。光波分器也是连接光线路终端和光网络单元的核心之一。现有的基于微环的波分器多为一环一路,即一个微环分出一个波长...
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