技术编号：8542874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。平面波导型光分路器(PLC Splitter)是一种基于石英基板的集成波导光功率分配器件，具有体积小，工作波长范围宽，可靠性高，分光均匀性好等特点，特别适用于无源光网络(EPON，BPON，GPON等)中连接局端和终端设备并实现光信号的分路。现阶段的平面光波导分路器生产工艺，是生产光波导器件的核心技术之一。随着市场上对平面光波导分路器性能需求的提升，设计版图中光波导分叉尺寸也在逐渐缩小。这同时也带来了生产工艺上光刻问题。这是因为需要高分辨率的光刻图形来保证...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。