感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法及触摸面板的制造方法技术资料下载

技术编号:8543024

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在半导体集成电路、液晶显示元件、印刷配线板等电子部件的制造中,作为形成 导体的微细图形的方法,提出了使用含有酪醒清漆型酪醒树脂和1,2-酿二叠氮化合物的 正型感光性树脂组合物的方案(例如,参照日本特开2007-316577号公报或国际公开第 2007/026475 号)。 近年来,由于智能手机、平板终端等便携设备的普及,触摸面板的需求提高。在触 摸面板中,在传感器部位、引出配线部位等形成有数ym宽的微细导体图形。在该图形形成 中,也使用正型感光性树脂组合...
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