技术编号：8544978
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 作为清洁环保的新能源，太阳能电池的应用越来越普及。常规太阳能电池的生产 工艺步骤为（1)损伤层的去除及绒面制备；（2)三氯氧磷扩散制作p-n结；（3)表面PSG的 去除及周边P_n的去除；(4)钝化减反射层的制备；(5)金属化（背电极，背电场和正电极的 印刷烧结）；(6)分选。 其中，上述太阳能生产工艺中关键步骤之一是"扩散制作PN结"，而这一步骤通常 采用管式设备进行扩散。硅片进入扩散管后，经过升温，沉积，推进，冷却，出舟步骤，完成 PN结的制作步骤。...
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