技术编号:8545182
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种。背景技术 薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)是现代微电子技术中的一种关键性电 子元件,目前已经被广泛的应用于平板显示器等领域。薄膜晶体管主要包括栅极、绝缘层、 半导体层、源极和漏极。其中,源极和漏极间隔设置并与半导体层电连接,栅极通过绝缘层 与半导体层及源极和漏极间隔绝缘设置。所述半导体层位于所述源极和漏极之间的区域形 成一沟道区域。薄膜晶体管中的栅极、源极、漏极均由导电材料构成,该导电材料一般为金 属或合金。当在...
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