一种用于相变存储器的Ge-Sb-Te-Se薄膜材料及其制备方法技术资料下载

技术编号:8545350

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相变存储器(PCRAM)具有循环寿命长、功耗低、可多级存储、高速读取、抗辐照、和 制造工艺简单等优点,尤其器件尺寸可以缩小到l〇nm技术节点以下,这是其他存储技术无 可比拟的。PCRAM被国际半导体工业协会认为最有可能取代Flash而成为未来存储器主流 产品,具有广阔的市场前景。 相变存储器的基本原理是利用电脉冲或光脉冲产生的焦耳热,使相变存储材料在 非晶态与晶态之间产生可逆转变,利用材料在高电阻值的非晶态和低电阻值的晶态之间的 电阻差异来实现数据存储,...
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