技术编号：8545930
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。已知一种利用 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems微电子机械系统)技术而制造出的功能元件(振子)。作为利用MEMS而制造出的功能元件的典型，可列举出具有如下结构的功能元件，其结构为，以对置并分离的方式而被配置的一对电极中的一方被固定在基板上，另一方以悬臂梁状或者固支梁状而被支承于基板上。并且，该另一方的电极成为能够振动及变形的可动电极。由这种固定电极以及可动电极构成的振子，通常经由实施可动电极的可动化(脱模)的蚀刻工序...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。