技术编号：8547558
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用于形成可以在压印光刻应用中使用的压印墨的合成物。 本发明还涉及从这样的合成物形成的压印墨。 本发明另外还涉及使用这样的压印墨在衬底上形成图案的方法。背景技术 压印光刻是其中通过可固化可压印介质的沉积在诸如半导体衬底或作为光学层 的衬底上形成诸如掩蔽层之类的图案化层的技术。可固化可压印介质随后通过利用图案化 印模压印介质来图案化，在此之后使可固化可压印介质凝固，例如在暴露于光(例如UV光） 以引发介质中的固化反应时。在固化反应完成之后，从介质移...
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