技术编号：8547930
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在包括流体容纳容器和阀头组件的流体存储和分配封装件的使用中，其中阀头组件包括流量控制阀，必要的是，流量控制阀在完全打开状态和完全闭合状态之间可操作，使得以有效且有效率的方式实施流体分配操作。在这样的流量控制阀中，在完全打开状态和完全闭合状态之间可转变的阀元件在闭合条件下必须实现流体紧密密封，并且当该阀至少部分地打开时，根据阀元件在阀腔室内的具体位置来提供对流体流量的精确调制。这在诸如半导体产品、平板显示器以及太阳能板的制造的应用中是特别关键的(在所述应用中...
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