纳米结构的转移方法技术资料下载

技术编号:8552724

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本发明涉及一种。背景技术 利用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)生长纳米结构取决于基 底的材料及形状,例如,横向单壁碳纳米管(single-walled carbon nanotubes,SWCNTs)需 要在石英基底上生长,大面积的石墨烯需要在铜箔上生长。然而,利用所述纳米结构制作电 子设备时常常需要将该纳米结构设置于硅片或柔性基底上。因此,业界发展了纳米结构的 转移技术,以便将所述纳米结构从生长基底上转移到目...
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