技术编号：8556494
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及微结构加工及微结构面形质量检测，特别设及一种XYZ-0 四维扫描探针微形貌测量系统。背景技术 随着精密加工技术的发展，各种微结构器件不断出现，该些微结构器件通常具有 复杂的面形几何特征，具体表现为垂直侧壁、睹峭斜坡、尖端锐角等。在测量具有复杂面形 特征的微结构表面形貌时，测量结果中样品形貌失真和噪声干扰是当前精密形貌测量亟待 解决的技术难题。 精密形貌测量技术主要包括非接触式测量和接触式测量两大类。 非接触式测量主要包括基于光学的共聚焦和自聚焦...
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