一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置的制造方法技术资料下载

技术编号:8558030

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ITO透明导电膜即掺杂铟锡氧化物薄膜,简称ITO薄膜,是Indium Tin Oxide的缩写。ITO薄膜是一种η型半导体材料,其具有许多优异的物理、化学性能,例如较高的可见光透过率和导电率,与大部分衬底具有良好的附着性,较强的硬度及良好的抗酸、碱及有机溶剂能力,因此,被广泛应用于光电器件中。比如液晶显示器(IXD),等离子显示器(TOP),电极放光显示器(EL/0LED),触摸屏,太阳能电池及其他电子仪表中。目前,ITO薄膜的制备方法很多,常见的有喷涂法...
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