技术编号:85590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明关于半导体结构,特别关于电熔线及其制造方法。 背景技术在半导体工业中,熔线元件已广泛地使用在集成电路中,例如用来改善制造合格率或制作用户化集成电路。在相同的晶粒上以完全一样或多余的电路取代有缺陷的电路,可使制造合格率明显提升。使用激光束切断的熔线称为激光熔线(laser fuse),借由通过电流切断或烧断的熔线,则称为电熔线(electrical fuse)或e-熔线(e-fuse)。 熔线在集成电路的设计中可以选择性地烧断,例如通过足够大的电流以产生电迁移(electromigration)或融熔...
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