一种基于双soi压力芯体高温差压传感器结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8561903

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目前国内外一些生产硅压阻式差压传感器的公司,都采用单面充硅油表压芯体,这种芯体做为差压器件,它的测量介质正面是液体,反面只能是干燥的气体,防腐性能差,而且安装比较困难。另外,部分公司采用了双面充油双面膜片结构的硅压阻式压力传感器,该结构两端都可以测量液体,防腐性能强、但同样也存在安装比较困难,不利于传感器小型化以及客户特殊定制要求。这些差压传感器都有一定的局限性,尤其是在高温、测量对象为腐蚀性气/液介质、安装空间狭小的测量场合,需要小型化、高温差压传感器,...
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